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随着现代技术（航天技术、原子能技术、电子技术等）的迅速发展，对一些产品部件的精度要求愈来愈高，因此要求建造洁净厂房，以防止产品在生产过程中受到尘粒污染或有害物质污染。第二次世界大战后，美国、欧洲很多地方和日本都先后建成洁净厂房。中国在50年代曾建设一些无窗密闭厂房，60年代研制成高效过滤器、净化工作台和装配式洁净室等设备，以后在电子工业等部门建成一些洁净厂房，如常州的半导体厂。
总体布置 厂址宜选在空气自净条件好，大气含尘量低的地区,要求远离铁路、机场、码头和交通要道,避开散发大量粉尘的工厂、堆场等污染源。总体布置应按不同的净化要求分区。洁净区应处于一般生产区和污染区的上风位，并须多面规划，布置道路和绿化，以改善小区环境，有条件的宜设置水池、喷泉等。有洁净要求的工厂通常由一般生产用房、洁净厂房和辅助用房等组成。
洁净厂房一般包括四部分：洁净生产用房（通常兼有一般生产用房），空调冷冻机房，纯水和气体净化站，人员、物料净化用房。洁净生产用房的空气须经过多级净化，使每立方米空气含微尘量达到规定的等级。要求无菌生产用房的，要用紫外线清理有害物质。空调冷冻机房用于净化空气，在满足防振、防噪声要求的前提下，应靠近洁净生产用房以至毗连。纯水和气体净化站可同空调冷冻机房组合，或设置于辅助用房部分，但必须便于铺设管线，与其服务的部位紧密联系。人员必须经过净化用房换鞋更衣，再经空气淋浴等，方能进入洁净生产用房。
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