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2026-05
星期
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广州单靶磁控溅射优点 广东省科学院半导体研究所供应
针对磁控溅射镀层均一性的行业痛点,研究所开发了在线监测与智能调控一体化技术。该技术在溅射生产线中集成双测厚单元与智能控制器,基膜经磁控溅射单元后,由测厚件实时采集厚度数据,控制器根据预设公式d=pnk/s进行参数运算。当检测到长度
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2026-05
星期 六
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广州微流控半导体器件加工 广东省科学院半导体研究所供应
功率器件的半导体加工工艺复杂,涉及多道关键工序,每一步都需要精细控制,才能确保器件的电气性能和热管理效果。一个高素质的功率器件半导体器件加工团队,必须具备丰富的工艺经验和对微纳加工技术的深刻理解。团队成员通常涵盖工艺工程师、设备维
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09
2026-05
星期 六
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广州单靶磁控溅射优点 广东省科学院半导体研究所供应
铝膜在电子信息及集成电路领域具有广泛的应用价值,其制备工艺的质量直接影响器件性能。磁控溅射镀膜工艺通过高能粒子撞击铝靶,促使铝原子从靶材表面脱离并沉积到基板上,形成均匀且致密的铝膜层。该工艺的关键在于控制溅射参数,如靶功率、气压、
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09
2026-05
星期 六
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广州金属磁控溅射处理 广东省科学院半导体研究所供应
半导体磁控溅射技术的关键在于高能粒子撞击高纯度靶材,激发靶原子离开靶表面并沉积到样品上,形成均匀的薄膜层。该技术广泛应用于金属、半导体及绝缘材料的沉积,适合多种材料体系的制备。针对科研院校和企业用户的需求,技术支持不仅涵盖设备操作
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09
2026-05
星期 六
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广州平衡磁控溅射处理 广东省科学院半导体研究所供应
磁控溅射加工是一种用于制备功能性薄膜的加工方式,应用于微纳米器件和集成电路领域。该加工过程基于入射粒子与靶材碰撞产生溅射粒子的原理,通过精确控制溅射参数,实现对薄膜厚度、成分及结构的准确调控。磁控溅射加工设备结构相对简洁,能够在较

