
B)车载空调控制系统小功率直流/交流(DC/AC)逆变,使用电流较小的IGBT和FRD;C)充电桩智能充电桩中IGBT模块被作为开关元件使用;2)智能电网IGBT广泛应用于智能电网的发电端、输电端、变电端及用电端:1、从发电端来看,风力发电、光伏发电中的整流器和逆变器都需要使用IGBT模块。2、从输电端来看,特高压直流输电中FACTS柔性输电技术需要大量使用IGBT等功率器件。3、从变电端来看,IGBT是电力电子变压器(PET)的关键器件。4、从用电端来看,家用白电、微波炉、LED照明驱动等都对IGBT有大量的需求。3)轨道交通IGBT器件已成为轨道交通车辆牵引变流器和各种辅助变流器的主流电力电子器件。交流传动技术是现代轨道交通的技术之一,在交流传动系统中牵引变流器是关键部件,而IGBT又是牵引变流器的器件之一。IGBT国内外市场规模2015年国际IGBT市场规模约为48亿美元,预计到2020年市场规模可以达到80亿美元,年复合增长率约10%。2014年国内IGBT销售额是,约占全球市场的1∕3。预计2020年中国IGBT市场规模将超200亿元,年复合增长率约为15%。从公司来看,国外研发IGBT器件的公司主要有英飞凌、ABB、三菱、西门康、东芝、富士等。中国功率半导体市场占世界市场的50%以上。
在所述栅极结构的每一侧包括二个所述第二屏蔽电极结构,在其他实施例中,也能改变所述栅极结构和对应的所述第二屏蔽电极结构的数量和位置。所述沟槽101的步进为1微米~3微米,所述沟槽101的步进如图3a中的d1所示。在所述漂移区1和所述集电区9之间形成有由一导电类型重掺杂区组成的电场中止层8。本发明一实施例中,所述igbt器件为n型器件,一导电类型为n型,第二导电类型为p型。在其他实施例中也能为:所述igbt器件为p型器件,一导电类型为p型,第二导电类型为n型。本发明一实施例具有如下有益技术效果:1、本发明一实施例对器件单元结构中的栅极结构的屏蔽结构做了特别的设置,在栅极结构的两侧设置有形成于沟槽101中的屏蔽电极结构即第二屏蔽电极结构,再加上形成于栅极结构的沟槽101底部的一屏蔽电极结构,一起作用栅极结构的屏蔽电极,这种屏蔽电极结构由于是通过沟槽101填充形成,有利于缩小器件的沟槽101的步进,较小的沟槽101步进能从而降低igbt器件的输入电容、输出电容和逆导电容,提高器件的开关速度;2、本发明一实施例同时还将一屏蔽电极结构对应的一屏蔽多晶硅4a和第二屏蔽电极结构对应的第二屏蔽多晶硅4b都通过接触孔连接到金属源极,实现和发射区的短接。
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