
令各所述第二屏蔽多晶硅4b顶部对应的接触孔为屏蔽接触孔。在各所述单元结构中,所述源极接触孔11和各所述屏蔽接触孔连接成一个整体结构。通过对所述接触孔的结构进行更改就能得到图2所示的本发明第二实施例器件的结构,即:在各所述单元结构中,所述源极接触孔11和邻近的一个所述屏蔽接触孔合并成一个接触孔,邻近的所述屏蔽接触孔外侧的所述屏蔽接触孔呈结构。本发明一实施例方法中,所述igbt器件为n型器件,一导电类型为n型,第二导电类型为p型。在其他实施例方法中也能为:所述igbt器件为p型器件,一导电类型为p型,第二导电类型为n型。以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明,但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下,本领域的技术人员还可做出许多变形和改进,这些也应视为本发明的保护范围。
由形成于半导体衬底表面的一导电类型轻掺杂区组成。第二导电类型掺杂的阱区,形成于所述漂移区表面。在所述漂移区的底部表面形成有由第二导电类重掺杂区组成的集电区。电荷存储层,所述电荷存储层形成于所述漂移区的顶部区域且位于所述漂移区和所述阱区交界面的底部,所述电荷存储层具有一导电类重掺杂;所述电荷存储层用于阻挡第二导电类载流子从所述漂移区中进入到所述阱区中。多个沟槽,各所述沟槽穿过所述阱区和所述电荷存储层且各所述沟槽的进入到所述漂移区中;一个所述igbt器件的单元结构中包括一个栅极结构以及形成于所述栅极结构两侧的第二屏蔽电极结构,在所述栅极结构的每一侧包括至少一个所述第二屏蔽电极结构。所述栅极结构包括形成于一个对应的所述沟槽中的一屏蔽多晶硅和多晶硅栅的叠加结构,所述一屏蔽多晶硅组成一屏蔽电极结构。所述多晶硅栅位于所述一屏蔽多晶硅的顶部,所述一屏蔽多晶硅和对应的所述沟槽的底部表面和侧面之间通过一屏蔽介质层隔离,所述一屏蔽多晶硅和所述多晶硅栅之间通过多晶硅间介质层隔离,所述多晶硅栅和所述沟槽的侧面之间通过栅介质层隔离。所述第二屏蔽电极结构由填充于所述栅极结构两侧的所述沟槽中的第二屏蔽多晶硅组成。
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